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碳酰氟，又名羰基氟、氟光气，是一种化学物质，化学式为COF2，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。

化学式：COF2                                                

密    度：1.244g/cm3

熔    点：-114℃

沸    点：-84℃

折射率：1.207 [1]

 别    名：氟光气、羰基氟

用途

主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。

【公司简介】
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压缩机：百福马、泰康、美优乐、谷轮、大金、布里斯托、三菱、泰康、美芝、 汉钟 、复盛。 
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