产品名称: | R116 | CAS: | 76-16-4 |
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类别: | 氟代烃 | 是否危险化学品: | 否 |
含量: | 99.9% | 是否进口: | 否 |
厂家(产地): | 中国 | 包装规格: | 30kg/瓶 |
型号:R116制冷剂
R-116制冷剂,别名R116、氟利昂116、PFC-116,商品名称有Reflube 116、Freon 116等,中文名称六氟乙烷,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,化学式C2F6。R-116属于PFC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应;目前对于R116制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
R-116主要用途
R-116作为一款特种***温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R116同时也是***温配合冷媒的重要组分。六氟乙烷是目前微电子工业中用量的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
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