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物理性质

1. 外观与状态：低温下为白色块状结晶 / 无色固体，熔点 17.5℃，沸点 34–35℃；室温下易液化、气化，是一种低沸点的挥发性氟化物；液态密度 2.551 g/cm³（17.5℃）；分子量 209.95；

2. 结构：气态与液态中为正八面体几何构型（Oₕ点群），中心 Mo⁶⁺被 6 个 F⁻配位；低温晶体为正交晶系（Pnma 空间群）；

3. 稳定性：对干空气、Cl₂、SO₂稳定；极度怕水 / 湿空气，遇水迅速水解生成蓝色氧化钼（MoO₃相关物种）与氢氟酸，不可暴露在开放潮湿环境中。

   化学性质与制备

强氧化性 / 氟化性：室温在强氧化条件下可侵蚀多数金属（Au、Pt 除外）；可与碱性氟化物形成 M₂[MoF₈] 型配合物；

***合成：钼粉与干燥氟气在 60℃左右直接反应：；粗品经低温回收、真空精馏提纯；

其他方法：三氟化溴氟化、氟气置换 MoCl₅中的氯，但工业上以直接氟化法为主。

核心用途

1. 微电子 CVD/ALD 前驱体：用于沉积高纯钼、硅化钼（MoSi₂）薄膜，制作超大规模集成电路的低电阻、耐高温互连线、栅极、阻挡层；

2. 钼同位素分离（铀浓缩类似的气体扩散 / 离心技术）；

3. 强氟化试剂、离子注入掺杂源、金属表面改性剂。